真空滤油机经分水器破乳脱除大量水分后的油液再进入极低气压的真空分离器内，其内利用分子分离技术原理对油液进行变压解析、真空滞留、内急立体蒸发，消除分子间的结合力，使油液中所含的溶解水、溶解气体、游离水、游离气体等快速溃破油膜脱离油分子而析出。油液进入真空分离器内先形成雾状，再形成膜状，使其在真空中的接触面积扩大为原来的数百倍。油中所含的水分在高热、高真空度、大表面、高抽速的条件下得到快速汽化并由真空系统排出；经脱水、脱气后的油液再经排油泵泵入二级过滤器，细微颗粒杂质被滤除，油液在压力作用下继续进入精滤器，其内为复合微孔结构的过滤材质，能有效滤除油液中的超微颗粒杂子，zui后经透平油滤油机出油口流出的油液即为洁净油，从而完成整个油液的净化过程。
正在运行的真空滤油机需要中断时，应在断开加热电源5min后才能停止油泵运行，以防油路中局部油品受热分解产生烃类气体。室外低温环境工作结束后，必须将真空泵至冷凝器中的存水放干净，以防低温结冰损坏设备。滤油机放置不用时，应将真空泵内的污油放尽并注人新油。真空滤油机的冷凝器，加热器应定期清洁，否则会应影响效率，缩短寿命。
